咨詢熱線020-29038089
集成電路無(wú)塵車(chē)間是滿足半導(dǎo)體制造工藝要求的潔凈室。該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、靜電放電、AMC控制等有一定要求。與其它工業(yè)潔凈室相比，集成電路無(wú)塵車(chē)間具有占地面積大、潔凈度高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。
a)靈活性：在這三個(gè)系統(tǒng)中，F(xiàn)FU系統(tǒng)的靈活性是最好的，特別適合當(dāng)今集成電路生產(chǎn)技術(shù)的快速發(fā)展，因?yàn)殡S著生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)潔凈度的要求更嚴(yán)格。隧道系統(tǒng)很難說(shuō)是靈活的，隧道系統(tǒng)是一個(gè)以操作區(qū)為送風(fēng)區(qū)，設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)的空氣循環(huán)系統(tǒng)。集中送風(fēng)系統(tǒng)具有一定的靈活性，但潔凈系統(tǒng)改造時(shí)必須停機(jī)停產(chǎn)。如果我們想提高局部區(qū)域潔凈度，除了在無(wú)塵車(chē)間頂部增加HEPA/ULPA過(guò)濾器外，還需要增加循環(huán)機(jī)組，這使得改造難度大，對(duì)生產(chǎn)的影響更大。使用FFU系統(tǒng)，可以方便地在局部增加FFU的數(shù)量或移動(dòng)FFU的位置，而且可以在不停產(chǎn)的情況下進(jìn)行，對(duì)生產(chǎn)影響很小。
b)調(diào)控性：與集中送風(fēng)系統(tǒng)相比，F(xiàn)FU系統(tǒng)各區(qū)域的送風(fēng)交叉點(diǎn)相對(duì)較小，可以實(shí)現(xiàn)高精度的溫濕度控制。隨著電機(jī)和網(wǎng)絡(luò)控制技術(shù)的發(fā)展，F(xiàn)FU易于實(shí)現(xiàn)單控，且每個(gè)FFU的出風(fēng)速度在一定范圍內(nèi)幾乎可以任意調(diào)節(jié)，很容易解決大跨度無(wú)塵車(chē)間遠(yuǎn)近端氣流不均勻的問(wèn)題。此外，F(xiàn)FU還可以根據(jù)實(shí)際使用需要停開(kāi)或者少開(kāi)啟一部分。
c)可靠性：采用集中送風(fēng)系統(tǒng)，如果有一臺(tái)送風(fēng)機(jī)組出現(xiàn)故障，除非能立即投入備用機(jī)組，否則不能保證整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度；一旦隧道系統(tǒng)的循環(huán)機(jī)組停止運(yùn)行，就不能保證循環(huán)機(jī)組所負(fù)擔(dān)潔凈區(qū)的潔凈度、溫度和濕度，也不能保證整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。而FFU系統(tǒng)這方面的風(fēng)險(xiǎn)就很小，即使一臺(tái)FFU發(fā)生故障，其影響也很小。隨著網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)的發(fā)展， FFU系統(tǒng)因數(shù)量多給維護(hù)帶來(lái)的不便也得到了改善。
d)氣密性與空間利用：FFU系統(tǒng)由于風(fēng)機(jī)直接設(shè)在工作區(qū)上方，因此工作區(qū)相對(duì)于回風(fēng)道及上靜壓箱為正壓，工作區(qū)以外污染物極少因泄漏進(jìn)入上作區(qū)：相反的，集中送風(fēng)系統(tǒng)和隧道系統(tǒng)工作區(qū)相對(duì)于上靜壓箱為較大的負(fù)壓，因此泄漏的風(fēng)險(xiǎn)性比FFU系統(tǒng)要高得多。另外集成電路無(wú)塵車(chē)間采用集中送風(fēng)系統(tǒng)及隧道系統(tǒng)，上靜壓箱與周?chē)h(huán)境的壓差很大，極易發(fā)生空氣泄漏，因此對(duì)上靜壓箱的氣密性要求很高，基本上不允許管線進(jìn)人。而FFU系統(tǒng)的上靜壓箱相對(duì)于周?chē)h(huán)境只是微正壓，上靜壓箱內(nèi)可以布置或穿越諸如排風(fēng)和排煙等管道，使空間得到合理利用。
好的無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)，不僅能節(jié)約能源，降低運(yùn)行成本，減少人力投入，而且為生產(chǎn)提供了安全可靠的保障。在三種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本最低，潔凈度和安全性最高。因此，在集成電路無(wú)塵車(chē)間中，多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高，潔凈室的投資和運(yùn)行成本越高。因此，在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級(jí)，主流大型工廠已進(jìn)入納米時(shí)代。集成電路無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)、施工和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷完善，為先進(jìn)工藝產(chǎn)品的生產(chǎn)提供保障。
廣東康合主要承接藥品GMP凈化車(chē)間、各類食品保健品生產(chǎn)的無(wú)塵無(wú)菌車(chē)間，以及電子和汽車(chē)制造、精密儀器等各行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間的建設(shè)與改造。
聯(lián)系我們
咨詢電話：020-29038089
最新資訊
- 1廣州黃埔區(qū)實(shí)驗(yàn)室改造建設(shè)項(xiàng)目進(jìn)行中
- 2公司參展2022年醫(yī)學(xué)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)展覽會(huì)簡(jiǎn)報(bào)
- 3廣州黃埔區(qū)實(shí)驗(yàn)臺(tái)通風(fēng)柜制造商圖片【廠家
- 4帶大家認(rèn)識(shí)下第三方檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室
- 5PCR實(shí)驗(yàn)室平面布局、通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)
- 6盤(pán)點(diǎn)：第三方醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì)
- 7醫(yī)用潔凈室裝飾材料施工驗(yàn)收規(guī)定
- 8中藥廠實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該配置哪些儀器設(shè)備？具體
- 9中藥飲片研發(fā)中心實(shí)驗(yàn)室建設(shè)，把握好這
- 10送你一份化學(xué)實(shí)驗(yàn)室籌備方案
